{"id":21236,"date":"2026-09-03T17:02:27","date_gmt":"2026-09-03T15:02:27","guid":{"rendered":"https:\/\/tera-environnement.com\/?post_type=faq&p=21236"},"modified":"2026-09-03T17:02:27","modified_gmt":"2026-09-03T15:02:27","slug":"quest-ce-que-la-technique-wos-atd-gc-ms-et-dans-quels-cas-est-elle-utilisee","status":"publish","type":"faq","link":"https:\/\/tera-environnement.com\/en\/faq\/quest-ce-que-la-technique-wos-atd-gc-ms-et-dans-quels-cas-est-elle-utilisee\/","title":{"rendered":"Qu’est-ce que la technique WOS ATD GC MS et dans quels cas est-elle utilis\u00e9e ?"},"content":{"rendered":"

La technique WOS (Wafer Out-gassing System) coupl\u00e9e \u00e0 l’ATD GC MS (d\u00e9sorption thermique \/ chromatographie gazeuse \/ spectrom\u00e9trie de masse) est une m\u00e9thode de pointe pour d\u00e9tecter les contaminants peu ou non volatils (condensables et organophosphor\u00e9s) se d\u00e9posant sur les surfaces. Des wafers de 6, 8 ou 12 pouces sont expos\u00e9s en salle blanche pendant plusieurs jours, puis envoy\u00e9s au laboratoire pour d\u00e9gazage et analyse. Cette technique est particuli\u00e8rement utilis\u00e9e dans le secteur de la micro\u00e9lectronique pour diagnostiquer des probl\u00e8mes de contamination de surfaces.<\/p>\n","protected":false},"featured_media":0,"template":"","class_list":["post-21236","faq","type-faq","status-publish","hentry"],"acf":[],"yoast_head":"\nQu'est-ce que la technique WOS ATD GC MS et dans quels cas est-elle utilis\u00e9e ? - TERA Environnement<\/title>\n<meta name=\"robots\" content=\"index, follow, max-snippet:-1, max-image-preview:large, max-video-preview:-1\" \/>\n<link rel=\"canonical\" href=\"https:\/\/tera-environnement.com\/faq\/quest-ce-que-la-technique-wos-atd-gc-ms-et-dans-quels-cas-est-elle-utilisee\/\" \/>\n<meta property=\"og:locale\" content=\"en_US\" \/>\n<meta property=\"og:type\" content=\"article\" \/>\n<meta property=\"og:title\" content=\"Qu'est-ce que la technique WOS ATD GC MS et dans quels cas est-elle utilis\u00e9e ? - TERA Environnement\" \/>\n<meta property=\"og:description\" content=\"La technique WOS (Wafer Out-gassing System) coupl\u00e9e \u00e0 l’ATD GC MS (d\u00e9sorption thermique \/ chromatographie gazeuse \/ spectrom\u00e9trie de masse) est une m\u00e9thode de pointe pour d\u00e9tecter les contaminants peu ou non volatils (condensables et organophosphor\u00e9s) se d\u00e9posant sur les surfaces. 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