¿Qué es la técnica WOS ATD GC MS y en qué casos se utiliza?

La técnica WOS (Wafer Out-gassing System) acoplada a ATD GC MS (desorción térmica / cromatografía de gases / espectrometría de masas) es un método avanzado para detectar contaminantes poco volátiles o no volátiles, incluidos condensables y organofosforados, depositados sobre superficies. Se exponen obleas de 6, 8 o 12 pulgadas en la sala blanca durante varios días y posteriormente se envían al laboratorio para su desgasificación y análisis. Esta técnica se utiliza especialmente en microelectrónica para diagnosticar problemas de contaminación de superficies.