Aprobación de parte de ASML para mediciones AMC (Airborne Molecular Contamination)
ASML es líder mundial en equipos de litografía para la industria de semiconductores, especializada en las tecnologías DUV (Ultravioleta Profundo) y EUV (Ultravioleta Extremo) esenciales para la fabricación de circuitos integrados.
Con sede en Holanda, la empresa desempeña un papel estratégico en el ecosistema de la microelectrónica, suministrando los sistemas que utilizan los principales fabricantes de chips del mundo.
Nuestro laboratorio está ahora certificado por ASML para mediciones AMC (Airborne Molecular Contamination).
Estamos muy orgullosos de anunciar que nuestro laboratorio está ahora referenciado por ASML para realizar mediciones AMC (Airborne Molecular Contamination) en el entorno de los equipos de litografía.
Este reconocimiento es un gran paso adelante: atestigua que nuestra experiencia, nuestros métodos de análisis y nuestro rigor operativo cumplen los requisitos técnicos de los escáneres y steppers de ASML, los sistemas de fotolitografía más avanzados del mundo.
ASML impone requisitos extremadamente estrictos para garantizar el rendimiento óptico y la disponibilidad de sus herramientas, y sólo los laboratorios técnicamente cualificados pueden controlar el entorno AMC en torno a estos equipos.
Ocho laboratorios en el mundo cuentan con esta acreditación, y TERA Environnement es el único en Europa que posee las competencias y los conocimientos técnicos exigidos por ASML. Esta distinción es tanto más importante cuanto que la Unión Europea, en el marco de su reglamento europeo sobre semiconductores, pretende reforzar su soberanía tecnológica duplicando su cuota del mercado mundial hasta el 20%.
¿Por qué es esencial la medición de los contaminantes moleculares transportados por el aire (AMC) en los entornos litográficos?
En la fabricación de microelectrónica, los AMC (incluidos ácidos, bases, aminas y compuestos orgánicos condensables o refractarios) son críticos para los procesos sensibles. A niveles a veces inferiores a pptV, algunos de estos contaminantes pueden :
- alterar las superficies ópticas de los escáneres (hazing),
- alterar la imagen litográfica,
- reducir los rendimientos,
- provocan fallos en el proceso difíciles de diagnosticar,
- reducen los tiempos de vida de las filtraciones moleculares.
A medida que los productos se han ido miniaturizando, el control de la contaminación molecular se ha vuelto esencial en las fábricas de última generación, tanto para los escáneres DUV (Ultravioleta Profundo) como para los equipos EUV (Ultravioleta Extremo).
Sala blanca para la producción de semiconductores
Nuestra homologación ASML confirma que nuestros protocolos de análisis cumplen exactamente las especificaciones del fabricante.
¿Cómo puede ayudarte nuestro laboratorio a caracterizar o controlar la contaminación molecular?
TERA Environnement lleva más de 20 años especializándose en el análisis del aire de salas blancas, en particular en el análisis de ácidos, bases, aminas, compuestos orgánicos volátiles, compuestos orgánicos condensables y refractarios.
Te apoyamos tanto en la fase previa como en la posterior a la instalación de los equipos ASML:
- Calificación de la instalación del escáner/paso a paso
Mediciones AMC en el entorno de una máquina cuando llega un nuevo escáner, para validar su conformidad con los requisitos del OEM (Original Equipment Manufacturer).
- Recalificación tras mantenimiento o actualización
Medidas AMC específicas antes de volver a la producción para evitar cualquier riesgo óptico o de proceso.
- Control y optimización de los filtros AMC
Comprobaciones antes y después de un filtro para garantizar el correcto funcionamiento de los filtros, de acuerdo con las expectativas de ASML y las garantías de los módulos ópticos.
- Diagnóstico avanzado en caso de desviación del proceso
Análisis completo de los perfiles AMC para identificar rápidamente el origen de la contaminación o de un descenso del rendimiento.
Reconocimiento de nuestro desempeño con los fabricantes de semiconductores desde hace más de 20 años
Esta homologación de ASML refuerza y confirma nuestra experiencia en análisis de aire para la industria microelectrónica desde hace más de 20 años. Nuestros conocimientos punteros, nuestra capacidad para ofrecer análisis en los entornos más sensibles y nuestro compromiso de ofrecer análisis fiables y rápidos adaptados a los retos de la litografía avanzada gozan ahora de pleno reconocimiento.
Estamos preparados para apoyar a las fábricas en :
- la introducción de nuevas herramientas,
- asegurar las líneas de impresión litográfica,
- resolver problemas complejos de AMC,
- optimización continua de los entornos críticos.
TERA Environnement lleva más de 20 años ayudando a sus clientes a controlar la contaminación química en sus salas blancas.
Consulta nuestros servicios de análisis de superficies y aire de salas limpias
¿Tienes alguna pregunta o necesitas un presupuesto? Ponte en contacto con nosotros para saber más sobre nuestros análisis de contaminación molecular.
