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Control de la contaminación orgánica en salas blancas – WOS ATD GCMS

 

 

¡TERA Environnement está especializada en el control de la contaminación en salas blancas desde hace más de 20 años!

¿Cuáles son las fuentes de contaminación en las salas blancas?

Las salas blancas pueden contaminarse con compuestos orgánicos resultantes de la construcción o fabricación a través de materiales de construcción, consumibles, gases y otras fuentes.

Detección y caracterización

  • DETECCIÓN: Instalación de wafers para controlar la contaminación del aire en una sala blanca
  • CARACTERIZACIÓN: Caracterización de dicha contaminación para identificar su origen

¿Por qué es importante controlar la contaminación orgánica en las salas blancas?

Optimización de procesos y reducción de costes

  • Al identificar los contaminantes, se optimizan los procesos de fabricación, se reducen los defectos y se mejora el rendimiento del producto.
  • Al detectar y eliminar los contaminantes orgánicos, se evitan los elevados costes asociados a los defectos de producción y las devoluciones de productos.

Lo que propone TERA Environnement en 3 etapas

1- Tipos de muestras analizables

Analizamos wafers de silicio de 6, 8 o 12 pulgadas que hayan estado expuestos en una sala blanca de 1 a 7 días.

2- Sistema de desgasificación de wafers (WOS)

Se coloca un wafer sobre el WOS.

El calentamiento a alta temperatura y la circulación de gas en el WOS permiten desgasificar las moléculas acumuladas en la superficie del wafer durante la exposición en la sala blanca.

Los COMPUESTOS DESGASIFICADOS se recogen en un tubo de termodesorción.

3- Compuestos desgasificados analizados con ATD GC MS

COMPUESTOS ANALIZADOS: Organofosfatos, Ftalatos, Siloxanos, Screening de los principales compuestos.

DETECCIÓN PRECISA A NIVELES MUY BAJOS: de 0,01 a 0,1 ng/cm2, lo que garantiza una detección fiable de las impurezas.

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Para saber más, echa un vistazo a nuestros servicios de análisis de aire de sala blanca, contaminación de superficie y mediciones de desgasificación.

¿Tienes alguna pregunta o necesitas un presupuesto? Ponte en contacto con nosotros para saber más sobre nuestros servicios de análisis.

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