Qu’est-ce que la technique WOS ATD GC MS et dans quels cas est-elle utilisée ?

La technique WOS (Wafer Out-gassing System) couplée à l’ATD GC MS (désorption thermique / chromatographie gazeuse / spectrométrie de masse) est une méthode de pointe pour détecter les contaminants peu ou non volatils (condensables et organophosphorés) se déposant sur les surfaces. Des wafers de 6, 8 ou 12 pouces sont exposés en salle blanche pendant plusieurs jours, puis envoyés au laboratoire pour dégazage et analyse. Cette technique est particulièrement utilisée dans le secteur de la microélectronique pour diagnostiquer des problèmes de contamination de surfaces.