¿Qué es la contaminación molecular de superficies (SMC) y cómo la analiza TERA Environnement?

La SMC (Surface Molecular Contamination) designa los contaminantes químicos que se depositan sobre las superficies de una sala blanca, especialmente sobre sustratos y wafers durante la fabricación. TERA Environnement analiza la SMC mediante muestreo con toallitas humedecidas con agua desionizada o disolvente orgánico, o mediante exposición de wafers con la técnica WOS ATD GC MS. Entre los compuestos buscados se encuentran ácidos, bases, metales, COV, organofosforados y compuestos condensables.