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Organic contamination control in cleanrooms – WOS ATD GCMS

Organic contamination control in cleanrooms – WOS ATD GCMS

 

  

TERA Environnement has been specialized in clean room contamination control for over 20 years!

What are the sources of contamination in cleanrooms?

Cleanrooms can be contaminated by organic compounds resulting from construction or manufacturing through building materials, consumables, gases and other sources.

Detection & characterization

  • DETECTION: Setup of wafers to monitor air contamination in a cleanroom
  • CHARACTERIZATION: Characterization of contamination to identify its source

Why is it important to control organic contamination in cleanrooms?

Process optimization & cost reduction

  • By identifying contaminants, the manufacturing processes are optimized, defects are reduced, and product performance is improved.
  • By detecting and eliminating organic contaminants, high costs associated with production defects and product returns are avoided.

TERA Environnement’s 3-step laboratory approach

1- Samples processing

6-, 8- or 12-inches silicon wafers that were exposed in a cleanroom for 1 to 7 days can be handled by this method.

2- Wafer Outgassing System (WOS)

A single wafer is laid flat on the WOS.

High-temperature heating as well as gas circulating in the WOS allow molecules collected on the wafer surface during the cleanroom exposure to be outgassed.

OUTGASSED COMPOUNDS are collected in a thermodesorption tube.

3- Outgassed compounds analyzed with ATD GC MS

COMPOUNDS ANALYZED: Organophosphates, Phthalates, Siloxanes, Screening of major compounds.

PRECISE DETECTION AT VERY LOW LEVELS: from 0,01 to 0,1 ng/cm2 ensuring reliable detection of impurities.

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To find out more, have a look at our services for cleanroom air analysis, surface contamination and outgassing measurements.

Do you have any questions or do you need a quote? Contact us to find out more about our analysis services.

New Indoor Air Quality offer

New Indoor Air Quality offer

TERA Environnement dispose de plus de  20 ans d´expérience dans l´analyse de l´air et notamment dans l´analyse d´air intérieur. Cela nous permet de vous proposer aujourd´hui une offre adaptée pour vous accompagner dans le cadre des différents référentiels existants pour la certification des bâtiments.

Une OFFRE COMPLÈTE pour vous accompagner dans vos campagnes de mesures d´air visant des certifications bâtiments !

Notre nouvelle offre QAI vous permet de réaliser les mesures pour différentes certifications existantes, entre autres  :

Sans oublier d´autres thématiques sur lesquelles nous pouvons également vous accompagner : 

  • Etablissements Recevant du Public (crèches, écoles, …) selon LAB REF 30
  • Diagnostic (identification de sources d’émission) & Monitoring
  • Accompagnement sur les problématiques sensibles (intoxication, Syndrome Bâtiment Malsain)

Des analyses peuvent être réalisées en urgence (de 24 à 72h) ou dans le cadre d´astreinte le week-end & jour férié.

La réalisation d´ANALYSES et la mise à disposition de MATÉRIEL DE PRÉLÈVEMENT 

Analyses en laboratoire d´une large gamme de composés tels que COV dont screening, aldéhydes, NO2 etc

Analyse des COV en ATD GCMS

Supports de prélèvements actifs

Supports de prélèvements passifs 

Analyse des aldéhydes en HPLC UV

Mais aussi la location de STATIONS de MESURES pour vos monitoring !

Mesures en temps réel des poussières PM 10, PM 2.5, PM 1, de COV, du formaldéhyde, du CO2 etc

Certains paramètres sont proposés sous accréditation COFRAC 

Consultez nos mesures sous accréditation en Air Intérieur: 

Portée de notre laboratoire de Crolles 1-5598 disponible sur www.cofrac.fr

Consultez nos prestations d´analyses en Air Intérieur, de mise à disposition de supports de prélèvement et de location de matériel

Vous avez des questions ou besoin d’un devis ? Contactez-nous pour en savoir plus sur nos services d’analyses.

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