Organic contamination control in cleanrooms – WOS ATD GCMS
TERA Environnement has been specialized in clean room contamination control for over 20 years!
What are the sources of contamination in cleanrooms?
Cleanrooms can be contaminated by organic compounds resulting from construction or manufacturing through building materials, consumables, gases and other sources.
Detection & characterization
DETECTION: Setup of wafers to monitor air contamination in a cleanroom
CHARACTERIZATION: Characterization of contamination to identify its source
Why is it important to control organic contamination in cleanrooms?
Process optimization & cost reduction
By identifying contaminants, the manufacturing processes are optimized, defects are reduced, and product performance is improved.
By detecting and eliminating organic contaminants, high costs associated with production defects and product returns are avoided.
TERA Environnement’s 3-step laboratory approach
1- Samples processing
6-, 8- or 12-inches silicon wafers that were exposed in a cleanroom for 1 to 7 days can be handled by this method.
2- Wafer Outgassing System (WOS)
A single wafer is laid flat on the WOS.
High-temperature heating as well as gas circulating in the WOS allow molecules collected on the wafer surface during the cleanroom exposure to be outgassed.
OUTGASSED COMPOUNDS are collected in a thermodesorption tube.
3- Outgassed compounds analyzed with ATD GC MS
COMPOUNDS ANALYZED: Organophosphates, Phthalates, Siloxanes, Screening of major compounds.
PRECISE DETECTION AT VERY LOW LEVELS: from 0,01 to 0,1 ng/cm2 ensuring reliable detection of impurities.
Previous slide
Next slide
To find out more, have a look at our services for cleanroom air analysis, surface contamination and outgassing measurements.
TERA Environnement dispose de plus de 20 ans d´expérience dans l´analyse de l´air et notamment dans l´analyse d´air intérieur. Cela nous permet de vous proposer aujourd´hui une offre adaptée pour vous accompagner dans le cadre des différents référentiels existants pour la certification des bâtiments.
Une OFFRE COMPLÈTE pour vous accompagner dans vos campagnes de mesures d´air visant des certifications bâtiments !
Notre nouvelle offre QAI vous permet de réaliser les mesures pour différentes certifications existantes, entre autres :
Sans oublier d´autres thématiques sur lesquelles nous pouvons également vous accompagner :
Etablissements Recevant du Public (crèches, écoles, …) selon LAB REF 30
Diagnostic (identification de sources d’émission) & Monitoring
Accompagnement sur les problématiques sensibles (intoxication, Syndrome Bâtiment Malsain)
Des analyses peuvent être réalisées en urgence (de 24 à 72h) ou dans le cadre d´astreinte le week-end & jour férié.
La réalisation d´ANALYSES et la mise à disposition de MATÉRIEL DE PRÉLÈVEMENT
Analyses en laboratoire d´une large gamme de composés tels que COV dont screening, aldéhydes, NO2 etc
Analyse des COV en ATD GCMS
Supports de prélèvements actifs
Supports de prélèvements passifs
Analyse des aldéhydes en HPLC UV
Mais aussi la location de STATIONS de MESURES pour vos monitoring !
Mesures en temps réel des poussières PM 10, PM 2.5, PM 1, de COV, du formaldéhyde, du CO2 etc
Certains paramètres sont proposés sous accréditation COFRAC
Consultez nos mesures sous accréditation en Air Intérieur: