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Contrôle de la contamination organique en salle blanche – WOS ATD GCMS

 

 

TERA Environnement est spécialisé dans le contrôle de la contamination d’air de salle blanche depuis plus de 20 ans !

Quelles sont les sources de contamination en salle blanche ?

Les salles blanches peuvent être contaminées par des composés organiques provenant de la construction ou de la fabrication, par le biais de matériaux de construction, de consommables, de gaz et d’autres sources.

Détection & Caractérisation

  • DÉTECTION : mise en place de wafers pour contrôler la contamination de l’air dans une salle blanche.
  • CARACTÉRISATION : caractérisation de la contamination afin d’en identifier la source.

Pourquoi est-il important de contrôler la contamination organique en salle blanche ?

Optimisation des processus & réduction des coûts

  • L’identification des contaminants permet d’optimiser les processus de fabrication, de réduire les défauts et d’améliorer les performances des produits.
  • La détection et l’élimination des contaminants organiques permettent d’éviter les coûts élevés liés aux défauts de production et aux retours de produits.

L’ approche de TERA Environnement en 3 étapes

1- Prise en charge des échantillons
Les wafers de 6, 8 ou 12 pouces préalablement exposés en salle blanche pendant 1 à 7 jours peuvent être analysés au laboratoire.
2- Wafer Outgassing System (WOS)
Le wafer est placé à plat sur l´équipement WOS.

Le chauffage à haute température et la circulation de gaz dans le WOS permettent aux molécules accumulées à la surface du wafer pendant l'exposition en salle blanche d'être dégazées.

Les COMPOSÉS DÉGAZÉS sont recueillis dans un tube de thermodésorption.
3- Composés dégazés analysés par ATD GC MS
COMPOSÉS ANALYSÉS : Organophosphates, Phtalates, Siloxanes, Screening des composés majoritaires.

DÉTECTION PRÉCISE À DES NIVEAUX TRÈS FAIBLES : de 0,01 à 0,1 ng/cm2 garantissant une détection fiable des impuretés.
Diapositive précédente
Diapositive suivante

Pour en savoir plus, consultez nos services d’analyses d’air de salle blanche, de mesures de contamination de surface et de dégazage.

Vous avez des questions ou souhaitez obtenir un devis ? Contactez-nous pour en savoir plus sur nos analyses.

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