Agrément délivré par ASML pour les mesures AMC (Airborne Molecular Contamination)
ASML est un leader mondial des équipements de lithographie pour l’industrie des semi‑conducteurs, spécialisé dans les technologies DUV (Deep Ultraviolet) et EUV (Extreme Ultraviolet) indispensables à la fabrication des circuits intégrés.
Basée aux Pays‑Bas, l’entreprise joue un rôle stratégique dans l’écosystème microélectronique en fournissant les systèmes utilisés par les plus grands fabricants de puces au niveau mondial.
Notre laboratoire possède désormais un agrément délivré par ASML pour les mesures AMC (Airborne Molecular Contamination)
Nous sommes très fiers d’annoncer que notre laboratoire est désormais référencé au sein de la société ASML pour la réalisation des mesures d’Airborne Molecular Contamination (AMC) dans l’environnement des équipements lithographiques.
Cette reconnaissance constitue une étape majeure : elle atteste que notre expertise, nos méthodes d’analyse et notre rigueur opérationnelle répondent aux exigences techniques des scanners et steppers ASML, les systèmes de photolithographie les plus avancés au monde.
ASML impose des niveaux d’exigence extrêmement stricts pour garantir la performance optique et la disponibilité de ses outils, et seuls des laboratoires techniquement qualifiés peuvent contrôler l’environnement AMC autour de ces équipements.
Huit laboratoires dans le monde disposent de cet agrément et TERA Environnement est le seul en Europe à maîtriser les compétences et le savoir‑faire exigés par ASML. Cette distinction prend d’autant plus d’importance que l’Union européenne, dans le cadre de son règlement européen sur les semi‑conducteurs, ambitionne de renforcer sa souveraineté technologique en doublant sa part du marché mondial pour atteindre 20 %.
Pourquoi la mesure des contaminants moléculaires aéroportés (AMC) est-elle essentielle en environnement lithographique ?
En fabrication microélectronique, les AMC (parmi lesquels acides, bases, amines, composés organiques condensables ou réfractaires) sont critiques pour des procédés sensibles. À des niveaux parfois inférieurs au pptV, certains de ces contaminants peuvent :
- altérer les surfaces optiques des scanners (hazing),
- perturber l’imagerie lithographique,
- réduire les rendements,
- provoquer des défaillances process difficiles à diagnostiquer,
- réduire les durées de vie des filtrations moléculaires.
Au fur et à mesure de la miniaturisation des produits, la maîtrise de la contamination moléculaire est devenue incontournable dans les fabs de dernière génération, autant pour les scanners DUV (Deep Ultraviolet) que pour les équipements EUV (Extreme Ultraviolet).
Salle blanche de production de semi-conducteurs
Notre agrément ASML vient confirmer que nos protocoles d’analyses répondent précisément aux spécifications du constructeur
Dans quel cadre notre laboratoire peut vous aider pour caractériser ou contrôler la contamination moléculaire ?
TERA Environnement est spécialisé dans l’analyse de l’air de salle blanche depuis plus de 20 ans et notamment dans l’analyse d’acides, de bases, d’amines, de composés organiques volatils, de composés organiques condensables et réfractaires.
Nous vous accompagnons en amont et en aval de l’installation d’un équipement ASML :
- Qualification d’installation des scanners / steppers
Mesures AMC en environnement machine lors de l’arrivée d’un nouveau scanner afin de valider sa conformité aux exigences OEM (Original Equipment Manufacturer).
- Requalification après maintenance ou upgrade
Mesures AMC ciblées avant remise en production afin d’éviter tout risque optique ou process.
- Contrôle et optimisation des filtres AMC
Vérifications amont/aval pour s’assurer du bon fonctionnement des filtres, conformément aux attentes ASML et aux garanties liées aux modules optiques.
- Diagnostic avancé en cas de dérive process
Analyse complète des profils AMC pour identifier rapidement l’origine d’une contamination ou d’une baisse de performance.
Une reconnaissance dans notre accompagnement des fabricants de semi‑conducteurs depuis plus de 20 ans
Cet agrément ASML renforce et confirme notre expérience dans les analyses d’air pour les acteurs de la microélectronique depuis plus de 20 ans. Notre expertise de pointe, notre capacité à proposer des analyses dans les environnements les plus sensibles, et notre engagement à fournir des analyses fiables, rapides et adaptées aux enjeux de la lithographie avancée sont désormais pleinement reconnus.
Nous sommes prêts à accompagner les fabs dans :
- la mise en route de nouveaux outils,
- la sécurisation des chaînes lithographiques,
- la résolution de problèmes AMC complexes,
- l’optimisation continue des environnements critiques.
TERA Environnement accompagne ses clients dans la maîtrise de la contamination chimique de leurs salles blanches depuis plus de 20 ans !
Consultez nos prestations d’analyses d’air et de surface en salle blanche
Vous avez des questions ou besoin d’un devis ? Contactez-nous pour en savoir plus sur nos analyses de contamination moléculaire.
