Qu’est-ce que la contamination moléculaire de surface (SMC) et comment TERA Environnement l’analyse-t-il ?

La SMC (Surface Molecular Contamination) désigne les contaminants chimiques qui se déposent sur les surfaces dans une salle blanche, notamment sur les substrats et wafers en cours de fabrication. TERA Environnement analyse la SMC par écouvillonnage avec lingettes imbibées d’eau désionisée (EDI) ou de solvant organique, ou par exposition de wafers (technique WOS ATD GC MS). Les composés recherchés incluent les acides, les bases, les métaux, les COV, les organophosphorés et les condensables.